סובסטראט:ווו פוסעד סיליקאַ
דימענשאַנאַל טאָלעראַנץ:-0.1 מם
גרעב טאָלעראַנץ:± 0.05 מם
ייבערפלאַך פלאַטנאַס:1 (0.5) @ 632.8 נם
ייבערפלאַך קוואַליטעט:40/20
עדזשאַז:ערד, מאַקס 0.3 מם. גאַנץ ברייט בעוואַל
קלאָר עפענונג:90%
צענטערינג:<1'
קאָוטינג:ראַבס <0.25% @ פּלאַן ווייוולענגט
שעדיקן שוועל:532nm: 10J/cm²,10ns דויפעק
1064נם: 10J/cm²,10ns דויפעק