אָפּטישער פּלאַן האט אַ ברייטע קייט פון אַפּליקאַציעס אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פעלד. אין אַ פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין, איז די אָפּטישע סיסטעם פאַראַנטוואָרטלעך פֿאַר פאָקוסירן דעם ליכט שטראַל וואָס ווערט אַרויסגעלאָזט דורך דער ליכט מקור און פּראַיעקטירן עס אויף דעם סיליקאָן וועיפער צו אַנטפּלעקן דעם קרייַז מוסטער. דעריבער, איז דער פּלאַן און אָפּטימיזאַציע פון אָפּטישע קאָמפּאָנענטן אין דעם פאָטאָליטאָגראַפי סיסטעם אַ וויכטיקער וועג צו פֿאַרבעסערן די פאָרשטעלונג פון דער פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין. די פאלגענדע זענען עטלעכע פון די אָפּטישע קאָמפּאָנענטן וואָס ווערן גענוצט אין פאָטאָליטאָגראַפי מאַשינען:
פּראָיעקציע אָביעקטיוו
01 די פּראַיעקציע אָביעקטיוו איז אַ שליסל אָפּטיש קאָמפּאָנענט אין אַ ליטאָגראַפֿיע מאַשין, געוויינטלעך באַשטייענדיק פֿון אַ סעריע לענסעס אַרייַנגערעכנט קאָנוועקס לענסעס, קאָנקאַווע לענסעס און פּריזמעס.
02 איר פונקציע איז צו פארקלענערן דעם קרייז מוסטער אויף דער מאַסקע און פאָקוסירן עס אויף דעם וועיפער באדעקט מיט פאָטאָרעזיסט.
03 די גענויקייט און פאָרשטעלונג פון די פּראַיעקציע אָביעקטיוו האָבן אַ באַשטימענדיקן השפּעה אויף די רעזאָלוציע און בילד קוואַליטעט פון די ליטאָגראַפֿיע מאַשין
שפּיגל
01 שפּיגלעןווערן גענוצט צו ענדערן די ריכטונג פון ליכט און עס ריכטן צו דער ריכטיקער לאקאציע.
02 אין EUV ליטאָגראַפֿיע מאַשינען, זענען שפּיגלען באַזונדערס וויכטיק ווײַל EUV ליכט ווערט לייכט אַבזאָרבירט דורך מאַטעריאַלן, אַזוי מוז מען נוצן שפּיגלען מיט הויכער רעפֿלעקטיוויטעט.
03 די ייבערפלאַך אַקיעראַסי און פעסטקייט פון די רעפלעקטאָר האָבן אויך אַ גרויס השפּעה אויף די פאָרשטעלונג פון די ליטאָגראַפֿיע מאַשין.
פילטערס
01 פילטערס ווערן גענוצט צו באַזייַטיקן אַנוואָנטעד כוואַליע לענגקטס פון ליכט, פֿאַרבעסערן די אַקיעראַסי און קוואַליטעט פון די פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס.
02 דורך אויסקלויבן דעם פאסיגן פילטער, קען מען זיכער מאכן אז נאר ליכט פון א ספעציפישע כוואליע-לענג גייט אריין אין דער ליטאגראפיע מאשין, דערמיט פארבעסערנדיג די גענויקייט און סטאביליטעט פון דעם ליטאגראפיע פראצעס.
פּריזמעס און אַנדערע קאָמפּאָנענטן
דערצו קען די ליטאגראַפֿיע מאַשין אויך נוצן אַנדערע הילפֿס־אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, ווי פּריזמען, פּאָלאַריזאַטאָרן, אאַז"וו, צו מקיים זיין ספּעציפֿישע ליטאגראַפֿיע רעקווייערמענץ. די אויסוואַל, פּלאַן און פּראָדוקציע פֿון די אָפּטישע קאָמפּאָנענטן מוז שטרענג נאָכפֿאָלגן די באַטייַטיקע טעכנישע סטאַנדאַרדן און רעקווייערמענץ צו זיכער מאַכן די הויכע פּינקטלעכקייט און עפֿעקטיווקייט פֿון דער ליטאגראַפֿיע מאַשין.
אין קורצן, די אנווענדונג פון אפטישע קאמפאנענטן אין דעם פעלד פון ליטאגראפיע מאשינען האט די ציל צו פארבעסערן די פערפארמענס און פראדוקציע עפעקטיווקייט פון ליטאגראפיע מאשינען, דערמיט שטיצן די אנטוויקלונג פון דער מיקראעלעקטראניק פאבריקאציע אינדוסטריע. מיט דער קאנטינעווער אנטוויקלונג פון ליטאגראפיע טעכנולוגיע, וועט די אפטימיזאציע און כידעש פון אפטישע קאמפאנענטן אויך צושטעלן א גרעסערן פאטענציאל פאר דער פאבריקאציע פון נעקסטע-דור טשיפס.
פֿאַר מער אינפֿאָרמאַציע און עקספּערט עצה, באַזוכט אונדזער וועבזייטל בייhttps://www.jiujonoptics.com/צו לערנען מער וועגן אונדזערע פּראָדוקטן און לייזונגען.
פּאָסט צייט: יאַנואַר-02-2025
