אָפּטיש פּלאַן האט אַ ברייט קייט פון אַפּלאַקיישאַנז אין די סעמיקאַנדאַקטער פעלד. אין אַ פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין, די אָפּטיש סיסטעם איז פאַראַנטוואָרטלעך פֿאַר פאָוקיסינג די ליכט שטראַל ימיטיד דורך די ליכט מקור און פּראַדזשעקטינג עס אַנטו די סיליציום ווייפער צו ויסשטעלן די קרייַז מוסטער. דעריבער, די פּלאַן און אַפּטאַמאַזיישאַן פון אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ אין די פאָטאָליטהאָגראַפי סיסטעם איז אַ וויכטיק וועג צו פֿאַרבעסערן די פאָרשטעלונג פון די פאָטאָליטהאָגראַפי מאַשין. די פאלגענדע זענען עטלעכע פון די אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ געניצט אין פאָטאָליטאָגראַפי מאשינען:
פּרויעקציע אָביעקטיוו
01 די פּרויעקציע אָביעקטיוו איז אַ שליסל אָפּטיש קאָמפּאָנענט אין אַ ליטהאָגראַפי מאַשין, יוזשאַוואַלי קאַנסיסטינג פון אַ סעריע פון לענסעס אַרייַנגערעכנט קאַנוועקס לענסעס, קאָנקאַווע לענסעס און פּריזאַמז.
02 זייַן פֿונקציע איז צו ייַנשרומפּן די קרייַז מוסטער אויף די מאַסקע און פאָקוס עס אויף די ווייפער קאָוטאַד מיט פאָטאָרעסיסט.
03 די אַקיעראַסי און פאָרשטעלונג פון די פּרויעקציע אָביעקטיוו האָבן אַ באַשטימענדיק השפּעה אויף די האַכלאָטע און ימידזשינג קוואַליטעט פון די ליטהאָגראַפי מאַשין
שפּיגל
01 מירראָרסזענען געניצט צו טוישן די ריכטונג פון ליכט און דירעקט עס צו די ריכטיק אָרט.
02 אין EUV ליטהאָגראַפי מאשינען, מירערז זענען דער הויפּט וויכטיק ווייַל EUV ליכט איז לייכט אַבזאָרבד דורך מאַטעריאַלס, אַזוי מירערז מיט הויך רעפלעקטיוויטי מוזן זיין געוויינט.
03 די ייבערפלאַך אַקיעראַסי און פעסטקייַט פון די רעפלעקטאָר אויך האָבן אַ גרויס פּראַל אויף די פאָרשטעלונג פון די ליטהאָגראַפי מאַשין.
פילטערס
01 פילטערס זענען געניצט צו באַזייַטיקן אַנוואָנטיד ווייוולענגטס פון ליכט, ימפּרוווינג די אַקיעראַסי און קוואַליטעט פון די פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס.
02 דורך סאַלעקטינג די צונעמען פילטער, עס קענען זיין ינשורד אַז בלויז ליכט פון אַ ספּעציפיש ווייוולענגט גייט אריין די ליטהאָגראַפי מאַשין, דערמיט ימפּרוווינג די אַקיעראַסי און פעסטקייַט פון די ליטהאָגראַפי פּראָצעס.
פּריזאַמז און אנדערע קאַמפּאָונאַנץ
אין אַדישאַן, די ליטהאָגראַפי מאַשין קען אויך נוצן אנדערע אַגזיליערי אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ, אַזאַ ווי פּריזאַמז, פּאָולערייזערז, אאז"ו ו, צו טרעפן ספּעציפיש ליטהאָגראַפי רעקווירעמענץ. די סעלעקציע, פּלאַן און פּראָדוצירן פון די אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ מוזן שטרענג נאָכפאָלגן די באַטייַטיק טעכניש סטאַנדאַרדס און רעקווירעמענץ צו ענשור די הויך פּינטלעכקייַט און עפעקטיווקייַט פון די ליטהאָגראַפי מאַשין.
אין קיצער, די אַפּלאַקיישאַן פון אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ אין די פעלד פון ליטהאָגראַפי מאשינען יימז צו פֿאַרבעסערן די פאָרשטעלונג און פּראָדוקציע עפעקטיווקייַט פון ליטהאָגראַפי מאשינען, און דערמיט שטיצן די אַנטוויקלונג פון מיקראָעלעקטראָניק מאַנופאַקטורינג אינדוסטריע. מיט די קעסיידערדיק אַנטוויקלונג פון ליטהאָגראַפי טעכנאָלאָגיע, די אַפּטאַמאַזיישאַן און כידעש פון אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ וועט אויך צושטעלן אַ גרעסערע פּאָטענציעל פֿאַר די פּראָדוצירן פון ווייַטער-דור טשיפּס.
פֿאַר מער ינסייץ און עקספּערט עצה, באַזוכן אונדזער וועבזייטל איןhttps://www.jiujonoptics.com/צו לערנען מער וועגן אונדזער פּראָדוקטן און סאַלושאַנז.
פּאָסטן צייט: Jan-02-2025
